三畅仪表将在CSTIC和SEMICON CHINA 2019的技术演示和展览新型的铠装热电偶
来源:www.wqhhs.com作者:发表时间:2019-09-26 17:22:20【小中大】
作为先进的流量,压力,真空和蒸汽输送解决方案的全球领导者,三畅仪表公司将与SEMICON China一起在中国半导体技术国际会议(CSTIC)上展示其新型GP200系列基于型铠装热电偶控制器(P-MFC)。 2019在上海。
CSTIC将于3月18日至19日在上海国际会议中心举行,而SEMICON China将于3月20日至22日在上海新国际博览中心举行。对于SEMICON China,三畅仪表公司将与其区域业务合作伙伴SCH Electronics Co.,Ltd.共同在N33675展位上参展。
会议期间,三畅仪表公司首席技术官将在题为“基于新型铠装热电偶的先进半导体处理质量流量控制器”的演讲中讨论新型GP200 P-MFC的设计,操作和功能。
GP200 P-MFC具有独特的警报功能,可及早发现潜在的过程问题,可为关键的气体输送应用提供精确且可重复的控制,并且对动态入口和出口压力情况完全不敏感。工艺气体精度为设定值的+/- 1%,重复性为+/- 0.15%。
Brooks Instrument基于绝对压力和铠装热电偶的组合开发了GP200 P-MFC,其中使用单个铠装热电偶代替两个绝对铠装热电偶来计算压降。
Saleem说:“这项技术的优势在于它消除了对匹配的绝对铠装热电偶的需求,从而避免了不受控制的漂移和流量误差,从而带来了卓越的流量测量精度和可重复性。” “我们很高兴与客户交谈,并在CSTIC会议和SEMICON China上展示了这项新技术。”
除了新的GP200 P-MFC,三畅仪表将采用其他半导体产品在SEMICON中国,其中包括业界领先的GF125系列微型燃料电池,具有高速EtherCAT技术的GF125 ®,该GF100系列高流动性微生物燃料电池和VDM300蒸汽输送模块,现在用的EtherCAT ®。
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